堿拋上下料設備
多年來，二所立足自主裝備，與產業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術系統集成的能力。
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用于光伏電池堿拋及去BSG/PSG工序。硅片從工藝主機流出，傳輸至自動化內裝滿花籃，并實現與AGV的對接。設備運行穩(wěn)定可靠，整合高效，人機交互簡單方便。
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硅片尺寸： 182-230mm（方片及半片）
硅片厚度： 120-200µm
產能：12道≥16000Pcs/H ，10道≥13000Pcs/H，半片≥32000Pcs/H
碎片率：182尺寸≤0.02%；220尺寸≤0.03%
不良比例：1、錯槽、雙片不可有；2、PL與EL不良之和≤0.02%
插片整齊度：偏差≤2mm
兼容花籃： 182：240×250×700mm或230：272×272×700mm
高精度機器人搬送花籃
碎片率≤0.01% Uptime≥99%；
中國電子科技集團公司第二研究所成立于1962年，是我國以智能制造、微電子裝備及應用、碳化硅裝備及應用、新能源裝備及應用等產品研發(fā)生產的骨干單位。多年來，二所立足自主裝備，與產業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術系統集成的能力。
二所是科技部“國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心（山西）”、科技部“國家科技合作基地”、工信部“智能制造試點示范”、國防科工局“軍用微組裝技術創(chuàng)新中心”、山西省“寬禁帶半導體制備重點實驗室”、山西省“微組裝工程技術研究中心”、山西省“微電子智能制造裝備創(chuàng)新中心”等的主建和依托單位。近年來，獲得國家、省部級獎項11項。
站在新的歷史起點，二所將以人工智能和半導體技術為核心，強化以軍為本、以民為主的創(chuàng)新鏈和以裝備為本、以應用為主的產業(yè)鏈，實施智能制造、微電子、SiC和新能源產業(yè)躍升計劃，不斷提升核心競爭力和盈利能力，形成良好可持續(xù)的高質量發(fā)展態(tài)勢。
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